Tlakový senzor je jedným z najbežnejších senzorov. Tradičný tlakový senzor je hlavne zariadením mechanickej štruktúry a deformácia elastickej časti označuje tlak. Avšak kvôli svojej veľkosti a hmotnosti nemôžu vyrábať elektrinu.

Vývoj polovodičovej technológie tiež viedol k vzniku polovodičových senzorov tlaku. Vyznačuje sa malou veľkosťou, ľahkou hmotnosťou, vysokou presnosťou a dobrým výkonom teploty. Najmä pri vývoji technológie MEMS sa semiconductorové senzory vyvíjajú v smere miniaturizácie, nízkej spotreby energie a vysokej spoľahlivosti.

Úloha senzorov tlaku

1. Priamo používané na meranie rôznych tlakov: tlak vzduchu, hydraulický tlak, hydraulický tlak (vrátane hydraulického tlaku), rôzny krvný tlak v každodennom živote atď.;

2. Tlakové senzory sa používajú v automobiloch, niektorých elitných motocykloch a takmer všetky vnútorné spaľovacie motory;

3. Hladina kvapaliny: poľné zariadenie používané na rôzne meranie hladiny kvapaliny sú hlavne tlakové senzory;

4. Väčšina elektronických váhových signálov a signálov vážiacich vozidiel pochádza z tlakových senzorov.

Tlakové senzory sa používajú hlavne na kontrolu a monitorovanie určitých aplikácií. V automobilovom priemysle sa tlakové senzory MEMS používajú hlavne na meranie tlaku paliva, tlaku pneumatík, tlaku airbagov a tlaku potrubia. V biomedicínskom poli sa tlakové senzory MEMS používajú hlavne v diagnostických a detekčných systémoch; V leteckom priemysle sa tlakové senzory MEMS používajú hlavne na reguláciu polohy kozmickej lode a polohy kozmickej lode;