Použiteľné pre snímač tlaku paliva Common Rail Passat 06E906051K

1. Spôsob výroby snímača tlaku, vyznačujúci sa tým, že zahŕňa:

Poskytnutie polovodičového substrátu, pričom prvá medzivrstvová dielektrická vrstva, prvá medzivrstvová dielektrická vrstva a druhá medzivrstvová dielektrická vrstva sú vytvorené na polovodičovom substráte.

Spodná elektródová doska v prvej medzivrstvovej dielektrickej vrstve, prvá vzájomná elektróda umiestnená na rovnakej vrstve ako spodná elektródová doska a je od seba vzdialená.

Spojovacie vrstvy;

Vytvorenie obetnej vrstvy nad spodnou polárnou platňou;

Vytvorenie hornej elektródovej platne na prvej medzivrstvovej dielektrickej vrstve, prvej prepojovacej vrstve a obetovanej vrstve;

Po vytvorení obetnej vrstvy a pred vytvorením hornej dosky v prvej prepojovacej vrstve

Vytvorenie spojovacej drážky a vyplnenie spojovacej drážky hornou doskou na elektrické spojenie s prvou spojovacou vrstvou;alebo

Po vytvorení hornej elektródovej dosky sa v hornej elektródovej doske a prvej prepojovacej vrstve vytvoria spojovacie drážky, ktoré

Vytvorenie vodivej vrstvy spájajúcej hornú elektródovú platňu a prvú prepojovaciu vrstvu v spojovacej drážke;

Po elektrickom spojení hornej dosky a prvej prepojovacej vrstvy sa odstráni obetovaná vrstva, aby sa vytvorila dutina.

2. Spôsob výroby snímača tlaku podľa nároku 1, vyznačujúci sa tým, že v prvej vrstve

Spôsob vytvárania obetnej vrstvy na medzivrstvovej dielektrickej vrstve zahŕňa nasledujúce kroky:

Nanesenie vrstvy obetného materiálu na prvú medzivrstvovú dielektrickú vrstvu;

Vzorovanie vrstvy obetného materiálu na vytvorenie obetnej vrstvy.

3. Spôsob výroby snímača tlaku podľa nároku 2, vyznačujúci sa tým, že sa používa fotolitografia a rytie.

Vrstva obetného materiálu je vzorovaná procesom leptania.

4. Spôsob výroby tlakového snímača podľa nároku 3, vyznačujúci sa tým, že obetovaná vrstva

Materiálom je amorfný uhlík alebo germánium.

5. Spôsob výroby tlakového senzora podľa nároku 4, vyznačujúci sa tým, že obetovaná vrstva

Materiál je amorfný uhlík;

Leptacie plyny používané v procese leptania vrstvy obetného materiálu zahŕňajú O2, CO, N2 a Ar;

Parametre v procese leptania vrstvy obetného materiálu sú: rozsah prietoku O2 je 18 SCCM ~ 22 SCCM a prietok CO je 10 %.

Prietok sa pohybuje od 90 SCCM do 110 SCCM, prietok N2 je v rozsahu od 90 SCCM do 110 SCCM a prietok Ar.

Rozsah je 90 SCCM ~ 110 SCCM, rozsah tlaku je 90 mtor ~ 110 mtor a predpätie je

540W až 660W.