Uplatniteľný na snímač tlaku na tlak na spoločnú koľajnicu Passat 06E906051K

1. Metóda na vytvorenie tlakového senzora, ktorý obsahuje:

Na polovodičovom substráte sa vytvorí prvá dielektrická vrstva prvej medzivrstvy, prvá medzivrstvová dielektrická vrstva a druhá dielektrická vrstva medzivrstvy.

Doska dolnej elektródy v prvej dielektrickej vrstve medzivrstvy, prvá vzájomná elektróda umiestnená na rovnakej vrstve ako spodná doska elektródy a odlišná.

Spojovacie vrstvy;

Formovanie obetnej vrstvy nad spodnou polárnou doskou;

Formovanie hornej elektródovej dosky na prvej dielektrickej vrstve medzivrstvy, prvej prepojenej vrstvy a obetnej vrstvy;

Po vytvorení obetnej vrstvy a pred vytvorením hornej dosky v prvej prepojení vrstvy

Vytvorenie spojovacej drážky a vyplňovanie pripojenia drážok hornou doskou, aby ste sa elektricky spojili s prvou prepojenou vrstvou; Alebo, alebo,

Po vytvorení hornej elektródovej doštičky sa spoja drážky v hornej elektródovej doske a v prvej prepojení, ktorá, ktorá

Formovanie vodivej vrstvy spájajúcej hornú elektródovú dosku a prvú prepojenú vrstvu v drážke pripojenia;

Po elektrickom prepojení hornej dosky a prvej prepojenej vrstvy odstránenie obetnej vrstvy za vzniku dutiny.

2. Metóda vytvorenia tlakového senzora podľa nároku 1, kde v prvej vrstve

Metóda tvorby obetnej vrstvy na dielektrickej vrstve medzivrstvy obsahuje nasledujúce kroky:

Ukladanie vrstvy obetnej materiálu na prvú dielektrickú vrstvu medzivrstvy;

Vzorovanie obetnej vrstvy materiálu za vzniku obetnej vrstvy.

3. Metóda tvorby tlakového senzora podľa nároku 2, kde sa používa fotolitografia a gravírovanie.

Vrstva obetnej materiálu je vzorovaná procesom leptania.

4. Metóda vytvorenia tlakového senzora podľa nároku 3, kde obetná vrstva

Materiál je amorfný uhlík alebo germánium.

5. Metóda vytvorenia tlakového senzora podľa nároku 4, kde obetná vrstva

Materiál je amorfný uhlík;

Leptové plyny používané v procese leptania vrstvy obetného materiálu zahŕňajú O2, Co, N2 a AR;

Parametre v procese leptania vrstvy obetnej materiálu sú: rozsah prietoku O2 je 18 SCCM ~ 22 SCCM a prietok CO je 10%.

Prietok sa pohybuje od 90 SCCM do 110 SCCM, prietok N2 sa pohybuje od 90 SCCM do 110 SCCM a prietok AR.

Rozsah je 90 SCCM ~ 110 SCCM, rozsah tlaku je 90 mTOR ~ 110 mTOR a výkon zaujatosti je

540 W ～ 660W。