Senzor tlaku motora 2CP3-68 1946725 pre rýpadlo Carter

Metóda prípravy senzora tlaku, ktorý sa vyznačuje obsahom nasledujúcich krokov:

S1, ktorý poskytuje oblátku zadný povrch a predný povrch; Vytváranie piezorezistívneho pásu a silne doprednej kontaktnej oblasti na prednom povrchu oblátky; Vytváranie tlakovej hlbokej dutiny leptaním zadného povrchu oblátky;

S2, spájanie podporného hárku na zadnej strane oblátky;

S3, vyrábajú olovené otvory a kovové drôty na prednej strane oblátky a spojovacie piezorezistické prúžky, ktoré tvoria most Wheatstone;

S4, ukladanie a tvorba pasivačnej vrstvy na prednom povrchu oblátky a otváracia časť pasivačnej vrstvy za vzniku oblasti kovovej podložky. 2. Výrobná metóda tlakového senzora podľa nároku 1, v ktorom S1 konkrétne obsahuje nasledujúce kroky: S11: Poskytovanie oblátky s zadným povrchom a predným povrchom a definovanie hrúbky tlakového filmu na oblátku; Implantácia iónov S12: Na prednom povrchu oblátky sa používa iónová implantácia, piezorezistické prúžky sa vyrábajú pomocou vysokoteplotného difúzneho procesu a kontaktné oblasti sú silne dopované; S13: ukladanie a tvorba ochrannej vrstvy na prednom povrchu oblátky; S14: Lepting a vytváranie tlakovej hlbokej dutiny na zadnej strane oblátky, aby sa vytvoril tlak citlivý film. 3. Výrobná metóda tlakového senzora podľa nároku 1, kde je oblátka SOI.

V roku 1962 Tufte a kol. Prvýkrát vyrobil piezorezistentný tlakový senzor s difúznymi kremíkovými piezorezistívnymi prúžkami a štruktúrou kremíkového filmu a začal výskum piezorezistívneho senzora tlaku. Koncom 60. a začiatkom 70. rokov 20. storočia, vzhľad troch technológií, konkrétne technológia kremíka anizotropného leptania, technológia implantácie iónov a technológie anodickej väzby, priniesla veľké zmeny senzora tlaku, ktoré zohrávali dôležitú úlohu pri zlepšovaní výkonnosti senzora tlaku. Od 80. rokov 20. storočia s ďalším vývojom technológie mikromechinovania, ako je anizotropné leptanie, litografia, difúzna doping, implantácia iónov, väzba a povlaky, sa veľkosť tlakového senzora neustále znižuje, citlivosť sa zlepšila a výkon je vysoký a výkon je vynikajúci. Zároveň vývoj a aplikácia novej technológie mikromechiningu robí hrúbku filmu tlakového senzora presne kontrolovanú.