Snímač tlaku motora 2CP3-68 1946725 pre rýpadlo Carter

1. Spôsob prípravy tlakového snímača, vyznačujúci sa tým, že zahŕňa nasledujúce kroky:

S1, poskytujúce plátok so zadným povrchom a predným povrchom; Vytvorenie piezorezistívneho pásika a silne dotovanej kontaktnej plochy na prednom povrchu plátku; Vytvorenie tlakovej hlbokej dutiny leptaním zadného povrchu oblátky;

S2, prilepenie podpornej fólie na zadnú stranu oblátky;

S3, výroba olovených otvorov a kovových drôtov na prednej strane doštičky a pripojenie piezorezistívnych pásikov na vytvorenie Wheatstoneovho mostíka;

S4, nanesenie a vytvorenie pasivačnej vrstvy na prednom povrchu plátku a otvorenie časti pasivačnej vrstvy na vytvorenie oblasti kovovej podložky. 2. Spôsob výroby snímača tlaku podľa nároku 1, kde S1 konkrétne zahŕňa nasledujúce kroky: S11: poskytnutie plátku so zadným povrchom a predným povrchom a definovanie hrúbky filmu citlivého na tlak na plátku; S12: iónová implantácia sa používa na prednom povrchu plátku, piezorezistívne pásiky sa vyrábajú procesom vysokoteplotnej difúzie a kontaktné oblasti sú silne dotované; S13: nanesenie a vytvorenie ochrannej vrstvy na prednom povrchu plátku; S14: leptanie a vytváranie tlakovej hlbokej dutiny na zadnej strane plátku na vytvorenie filmu citlivého na tlak. 3. Spôsob výroby snímača tlaku podľa nároku 1, vyznačujúci sa tým, že plátok je SOI.

V roku 1962 Tufte a spol. prvýkrát vyrobil piezorezistívny tlakový senzor s difúznymi kremíkovými piezorezistívnymi pásikmi a štruktúrou silikónového filmu a začal výskum piezorezistívneho tlakového senzora. Koncom 60. a začiatkom 70. rokov 20. storočia prinieslo objavenie sa troch technológií, a to technológie anizotropného kremíka, technológie iónovej implantácie a technológie anodického spájania, veľké zmeny v tlakovom senzore, čo zohralo dôležitú úlohu pri zlepšovaní výkonu tlakového senzora. . Od 80. rokov 20. storočia s ďalším rozvojom technológie mikroobrábania, ako je anizotropné leptanie, litografia, difúzne dopovanie, iónová implantácia, lepenie a poťahovanie, sa veľkosť tlakového snímača neustále zmenšuje, zvyšuje sa citlivosť a výstup je vysoký a výkon je výborný. Vývoj a aplikácia novej technológie mikroobrábania zároveň umožňuje presne kontrolovať hrúbku filmu snímača tlaku.