Vhodný pre senzor tlaku oleja Hitachi KM11 EX200-2-3-5

Štyri tlakové technológie senzora tlaku

1. Kapacitné

Kapacitné tlakové senzory sú zvyčajne uprednostňované veľkým počtom profesionálnych aplikácií OEM. Detekcia zmien kapacity medzi dvoma povrchmi umožňuje týmto senzorom vnímať extrémne nízky tlak a hladiny vákua. V našej typickej konfigurácii senzora sa kompaktné puzdro pozostáva z dvoch úzko rozmiestnených, rovnobežných a elektricky izolovaných kovových povrchov, z ktorých jeden je v podstate membrána, ktorá sa môže mierne ohýbať pod tlakom. Tieto pevne pevné povrchy (alebo platne) sú namontované tak, aby ohýbanie zostavy zmenilo medzeru medzi nimi (skutočne tvoria premenlivý kondenzátor). Výsledná zmena je detegovaná citlivým lineárnym porovnávacím obvodom s (alebo ASIC), ktorý zosilňuje a výstupuje proporcionálny signál na vysokej úrovni.

2.CVD typ

Výrobná metóda chemickej pary (alebo „CVD“) spája polysilikónovú vrstvu na membránu z nehrdzavejúcej ocele na molekulárnej úrovni, čím sa vytvára senzor s vynikajúcim dlhodobým driftovým výkonom. Bežné dávkové spracovanie polovodičových výrobných metód sa používajú na vytvorenie mostov z polysilikónového kmeňa s vynikajúcim výkonom za veľmi rozumnú cenu. Štruktúra CVD má vynikajúci výkon nákladov a je najobľúbenejším senzorom v aplikáciách OEM.

3. Typ rozprašovania filmu

Vykladanie rozprašovania filmu (alebo „film“) môže vytvoriť senzor s maximálnou kombinovanou linearitou, hysterézou a opakovateľnosťou. Presnosť môže byť až 0,08% v plnom rozsahu, zatiaľ čo dlhodobý posun je každý rok až 0,06% v plnom rozsahu. Mimoriadne výkony kľúčových nástrojov-tenký tenký filmový senzor je pokladom v priemysle snímania tlaku.

4. MMS TYP

Tieto senzory používajú na detekciu zmien tlaku mikro-strojový kremík (MMS). Silikónová membrána je izolovaná od média olejom naplneným 316SS a reagujú v sérii s tlakom procesnej tekutiny. Senzor MMS prijíma spoločnú technológiu výroby polovodičov, ktorá môže dosiahnuť vysoký odpor voči napätiu, dobrú linearitu, vynikajúci výkon tepelného šoku a stabilitu v kompaktnom balíku senzorov.