Vhodné pre snímač tlaku oleja Hitachi KM11 EX200-2-3-5

Štyri tlakové technológie snímača tlaku

1. Kapacitný

kapacitné snímače tlaku sú zvyčajne uprednostňované veľkým počtom profesionálnych aplikácií OEM. Detekcia zmien kapacity medzi dvoma povrchmi umožňuje týmto senzorom snímať extrémne nízke úrovne tlaku a vákua. V našej typickej konfigurácii snímača pozostáva kompaktný kryt z dvoch tesne umiestnených, paralelných a elektricky izolovaných kovových povrchov, z ktorých jeden je v podstate membrána, ktorá sa môže pod tlakom mierne ohnúť. Tieto pevne upevnené plochy (alebo platne) sú namontované tak, že ohybom zostavy sa mení medzera medzi nimi (v skutočnosti tvorí premenlivý kondenzátor). Výsledná zmena je detekovaná citlivým lineárnym komparátorovým obvodom s (alebo ASIC), ktorý zosilňuje a vydáva proporcionálny signál vysokej úrovne.

2.CVD typ

Výrobná metóda chemickej depozície z pár (alebo "CVD") spája polysilikónovú vrstvu s membránou z nehrdzavejúcej ocele na molekulárnej úrovni, čím vytvára senzor s vynikajúcim dlhodobým driftovým výkonom. Bežné metódy výroby polovodičov na výrobu polovodičov sa používajú na vytvorenie polysilikónových tenzometrických mostíkov s vynikajúcim výkonom za veľmi rozumnú cenu. Štruktúra CVD má vynikajúci nákladový výkon a je najobľúbenejším snímačom v aplikáciách OEM.

3. Typ filmu naprašovanie

Nanášanie filmu (alebo "filmu") naprašovaním môže vytvoriť snímač s maximálnou kombinovanou linearitou, hysterézou a opakovateľnosťou. Presnosť môže byť až 0,08 % plného rozsahu, zatiaľ čo dlhodobý drift je každý rok len 0,06 % plného rozsahu. Mimoriadny výkon kľúčových nástrojov – náš naprašovaný tenkovrstvový snímač je pokladom v priemysle snímania tlaku.

4.Typ MMS

Tieto senzory používajú membránu z mikroobrobeného kremíka (MMS) na detekciu zmien tlaku. Kremíková membrána je izolovaná od média olejom naplneným 316SS a reagujú v sérii s tlakom procesnej kvapaliny. Senzor MMS využíva bežnú technológiu výroby polovodičov, ktorá môže dosiahnuť vysokú odolnosť voči napätiu, dobrú linearitu, vynikajúci výkon pri tepelných šokoch a stabilitu v kompaktnom balení senzorov.