Štruktúra piezorezistívneho senzora

V tomto senzore je odporový pás integrovaný na monokryštalickom kremíkovom membráne pomocou procesu integrácie, aby sa vytvoril kremíkový piezorezistanný čip, a periféria tohto čipu je pevne zabalená do škrupiny a elektródy sú vyvedené. Senzor piezorezistívneho tlaku, známy tiež ako senzor tlaku v tuhom stave, sa líši od adhezívneho rozchodu, ktorý musí nepriamo pociťovať vonkajšiu silu prostredníctvom elastických citlivých prvkov, ale priamo pociťuje nameraný tlak prostredníctvom kremíkovej membrány.

Jedna strana kremíkovej membrány je vysokotlaková dutina, ktorá komunikuje s nameraným tlakom, a druhou stranou je nízkotlaková dutina, ktorá komunikuje s atmosférou. Všeobecne platí, že kremíková membrána je navrhnutá ako kruh s pevným perifériou a pomer priemeru k hrúbke je asi 20 ~ 60. Štyri p -nečistoty sú rozptyľované lokálne na kruhovom kremíkovom kremíkovom membráne a spojené s plným mostíkom, z ktorých dva sú v tlakovej zóne napätia a ďalšie dva sú v napätí v tenzle v tmere tenzilu, ktoré sú rešpektované s rešpektom s mostíkom.

Okrem toho existujú aj štvorcové kremíkové membrána a senzor stĺpca kremíka. Silikónový valcový senzor je tiež vyrobený z odporových pásov difúziou v určitom smere kryštálovej roviny kremíkového valca a dva prúžky odporové v ťahu a dva prúžky odporu v tlakovom napätí tvoria úplný mostík.

Piezorezistívny senzor je zariadenie vyrobené difúznym odporom na substráte polovodičového materiálu podľa piezorezistívneho účinku polovodičového materiálu. Jeho substrát sa môže priamo použiť ako merací senzor a difúzny odpor je pripojený do substrátu vo forme mosta.

Ak je substrát zdeformovaný vonkajšou silou, hodnoty odporu sa zmenia a most vytvorí zodpovedajúci nevyvážený výstup. Substráty (alebo membrány) používané ako piezorezistívne senzory sú hlavne kremíkové doštičky a germániové oblátky. Silikónové piezorezistívne senzory vyrobené zo kremíkových doštičiek ako citlivých materiálov priťahovali čoraz väčšiu pozornosť, najmä piezorezistívne senzory na meranie tlaku a rýchlosti, sú najčastejšie používané.