Bežne používaný polovodičový tlakový senzor používa ako substrát kremíkovú doštičku typu n. Po prvé, kremíková doštička sa vyrába na elastickú časť nesúci stres s určitou geometriou. V časti stresovej časti kremíkovej doštičky sa v rôznych smeroch kryštálov vyrábajú štyri difúzne odpory typu p a potom sa s týmito štyrmi rezistormi vytvorí štvorčarový pšeničný most. Pri pôsobení vonkajšej sily sa zmeny hodnôt odporu stávajú elektrickými signálmi. Tento Wheatstone Bridge s tlakovým efektom je srdcom tlakového senzora, ktorý sa zvyčajne nazýva piezorezistívny most (ako je znázornené na obrázku 1). Charakteristiky piezorezistívneho mosta sú nasledujúce: ① Hodnoty odporu štyroch ramien mosta sú rovnaké (všetky R0); ② Piezorezistívny účinok susedných ramien mosta je rovnaký v hodnote a opačným znakom; ③ Koeficient teploty odporu štyroch ramien mosta je rovnaký a vždy sú pri rovnakej teplote. Na obr. 1, R0 je hodnota odporu bez napätia pri teplote miestnosti; RT je zmena spôsobená teplotným koeficientom odporu (a), keď sa zmení teplota; Υ R5 je zmena odporu spôsobená kmeňom (ε); Výstupné napätie mosta je u = i0 δ rA = i0RG5 (zdrojový mostík konštantného prúdu).

Kde I0 je konštantný prúdový prúd prúdu a E je konštantné napätie zdroja napätia. Výstupné napätie piezorezistívneho mosta je priamo úmerné kmeňa (ε) a nemá nič spoločné s RT spôsobeným teplotným koeficientom odporu, čo výrazne znižuje teplotný posun senzora. Najčastejšie používaným senzorom tlaku polovodiča je senzor na detekciu tlaku tekutiny. Jeho hlavnou štruktúrou je kapsula vyrobená z monokryštalického kremíka (ako je znázornené na obrázku 2). Membrána je vyrobená v šálke a spodná časť šálky je časťou, ktorá nesie vonkajšiu silu, a tlakový most je vyrobený na spodnej časti šálky. Kruhový podstavec je vyrobený z rovnakého kremíkového monokryštálového materiálu a potom je membrána viazaná na podstavec. Tento druh tlakového senzora má výhody vysokej citlivosti, malého objemu a pevnosti a široko sa používa v letectve, vesmírnej navigácii, automatizačných nástrojoch a lekárskych nástrojoch.